Con lo sviluppo dei sensori di oggi, la miniaturizzazione, l'intelligenza e l'integrazione sono l'unico modo per aggiornare.

Cos'è un sensore MEMS ?

Il nome completo di MEMS è sistema micro-elettromeccanico. sistema micro-elettromeccanico si riferisce a un micro-dispositivo o sistema che può essere prodotto in lotti e integra micro-meccanismo, micro-sensore,microattuatore, circuito di elaborazione e controllo del segnale, interfaccia, comunicazione e alimentazione su uno o più chip.Il sensore MEMS è un nuovo tipo di sensore fabbricato dalla tecnologia di microelettronica e micromachinistica.

MEMS è una tecnologia di produzione avanzata sviluppata sulla base della tecnologia di produzione dei semiconduttori con la tecnologia e i materiali tradizionali dei semiconduttori.MEMS che coinvolgono principalmente la tecnologia di micromachinaturaDopo oltre 40 anni di sviluppo, il progetto ha raggiunto un livello di successo nel settore della tecnologia.è diventato uno dei principali campi scientifici e tecnologici che attira l'attenzione mondiale.

Materiali utilizzati:

Materiali a base di silicio: la maggior parte delle materie prime dei circuiti integrati e dei MEMS sono il silicio (Si), che può essere estratto in grandi quantità dal biossido di silicio.Per essere più popolareDopo una serie di lavorazioni complesse, la sabbia divenne silicio monocristallino.

Il materiale costituito prevalentemente da silicio ha ottime proprietà elettriche. La resistenza e la durezza del materiale di silicio sono equivalenti a quelle del ferro, la densità all'alluminio,e la conduttività termica al molibdeno e al tungstenoSe l'area di un singolo chip sensore MEMS è di 5 mm x 5 mm, un wafer di 8 pollici (20 cm di diametro) può tagliare circa 1000 giroscopi di chip MEMS e il costo assegnato a ciascun chip può essere notevolmente ridotto.

Materiali non di silicio: negli ultimi anni, l'applicazione dei materiali MEMS è stata gradualmente sostituita da materiali non di silicio.I ricercatori accademici si concentrano ora sullo sviluppo di micro dispositivi a base di polimeri e cartaI dispositivi sviluppati con questi materiali non sono solo rispettosi dell'ambiente, ma anche semplici da produrre e a basso costo.hanno ridotto significativamente il bilancio di R&S. Molte innovazioni nei micro-dispositivi a base di polimeri e carta indicano applicazioni mediche.

Lo sviluppo delle funzioni e delle prestazioni dei microdispositivi a base di carta e di polimeri è ancora in una fase relativamente iniziale e le strutture di produzione per tali dispositivi non sono ancora state sviluppate.La maturità e la commercializzazione di queste nuove tecnologie potrebbero richiedere più di 10 anniPertanto, c'è ancora molto lavoro innovativo da fare nella ricerca di micro-dispositivi basati su materiali a base di silicio.

Vantaggi tecnici:

La tecnologia MEMS è utilizzata per la fabbricazione di sensori, attuatori o microstrutture, con caratteristiche di miniaturizzazione, integrazione, intelligenza, basso costo, elevata efficienza,produzione di massa e elevata produttivitàLa tecnologia MEMS fa apparire decine di migliaia di chip MEMS (alcuni processi mettono anche chip di circuito integrato nello stesso passo) su ogni wafer.

Questo processo di batch è ora completamente automatizzato, isolando i fattori umani, garantendo che l'errore di processo tra ogni chip MEMS possa essere rigorosamente controllato, migliorando così il rendimento.Dopo la taglia e l'imballaggioDall'aspetto, la maggior parte dei chip MEMS e dei chip di circuito integrato sono simili.

In sintesi, la dimensione caratteristica della magnitudo micrometrica consente ai sensori MEMS di svolgere alcune funzioni che non possono essere raggiunte dai sensori meccanici tradizionali.È la forza principale dei microsensori e sta gradualmente sostituendo i sensori meccanici tradizionali. È ampiamente utilizzato in elettronica di consumo, industria automobilistica, aerospaziale, macchinaria, industria chimica, medicina e altri campi.altri apparecchi per la produzione di energia elettrica, e sensori catalitici.